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怎样正确测量真空漏率

2018/3/12    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

真空漏率丈量的办法是以示漏物质夜盖被橙容器的整个可疑区(或许被检容器内充人示漏物质),另一侧抽真空(或是大气);或是在被检容器的表里两边构成压差(或示漏物质的浓度差),在低压(或低浓度)侧侧2示漏物质的漏率

和浓度改变。

(1)加压条件下容器漏率的测定

金手指彩票平台 在加压条件下测童容器漏率的办法有:气泡法、超声法、气敏半导体检漏仪法、氨检漏法、卤素检漏仪法、氮质谱检漏仪法等。

(2)真空条件下容器漏率的测定

金手指彩票平台 ①运用接人真空容器的真空规、离子泵及残气剖析质谱计来测定容器的漏率。

②能够选用流盆丈量、压力丈量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等办法来测全漏率。

(3)密封件的无损检漏

①尽量运用密封件上可用来指示密封器材内部压力和示漏物质分压力的规管和残气剖析质谱计等进行检漏。

②有些本来不是丈量压力的设备,如:电子管、显像管等,若转换馈电办法,将其电极接成电离规的办法,测全出管内离子流的改变,便可知管内压力的改变率。大批量出产这类器材时,能够经过校准的办法把离子流的改变率直接换算成漏率。

③假如密封件内部具有可作为示漏的物质时,选用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检测,就可测出漏孔来。一般这类密封件内部的示漏气体的分压力要比选用背压法时的压力为高。因而,检漏灵敏度高,费用低。

④背压法检漏适用于成批出产小型密封件时的检漏;能够运用卤素检漏仪,氮质谱检漏仪,放射性同位素等检漏办法和仪器。

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