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干式真空泵的分类有哪些

2018/9/7    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

双圆裂片式

双圆裂片式设计和目前比较盛行和平凡使用的罗茨泵相等类似。实情上,一些比较前期的干泵设计思想即是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相等复杂,而且每一级都需求较大流量的氮气起到稀释和阻隔作用。同时,为了抵达好的真空度,对各级的间隙有相等严格的要求。当然,这种设计由于增添了内部的收缩比而使得其耗电量相对较低。

三叶圆裂片式

三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的道理完全相同,只是在转动一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优势和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会形成扭矩减小,从头启动的实力—下落。同双圆裂片式设计相同,三叶圆裂片式设计的每一级都需求较大流量的氮气来起到稀释和阻隔作用。

组合式(罗茨+爪)

组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来升高在较低压力下的抽气效率,用爪来升高在较高压力下的抽气效率。它的基本道理和气体通路同前方介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其一级改为星型设计,如此不妨在转动一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计不妨将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需求较大流量的氮气来起到稀释和阻隔作用。

外部收缩型螺杆式

金手指彩票平台 在外部收缩型螺杆式设计中,运用一对等距螺杆。这使得内部收缩减到比较小,同时使得气体通路比较短也比较简单。如此,气体在泵体内逗留的时光也比较短。尽管这种设计由于减少了内部的收缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中呈现出极高的安稳性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也相等小而且简单,如此就使得其在差异工艺中有很好的交换性。在很多干净的工艺中甚而不妨不用氮气。

内部收缩型螺杆式

除去运用一对非等距螺杆以外,内部收缩型螺杆式设计和外部收缩型螺杆式设计的基本道理相等类似。螺杆间容积的不停减小使得其内部发生收缩。这种设计由于发生内部收缩而使得其耗电量降低到同多级泵相等的水平。但在很多工艺中,这种内部收缩同多级泵相同,极易形成气体在泵体内的物理化学转变而发生固化或液化。

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