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选择真空泵需要注意的事项

2018/3/12    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

1、真空泵的作业压强应该满足真空设备的极限真空及作业压强要求。如:某真空单调工艺要求10mmHg的作业真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能抵达1mmHg。一般选择泵的极限真空度要高于真空设备作业真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规划,如:2BV系列水环真空泵作业压强规划760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强规划内,泵的抽速随压强而改动(详细改动情况参照泵的功能曲线),其安稳的作业压强规划为760~60mmHg。因而,泵的作业点应该选在这个规划之内较为合适,而不能让它在25~30mmHg下长期作业。

3、真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺进程中发作的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需求几种泵组合起来,彼此补偿才干满足抽气要求。如钛提高泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空设备得到较好的真空度。其他,有的真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严峻要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假设要求不严峻,可以选择有油泵,加上一些防油污染方法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能抵达清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘土,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需求知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假设气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上设备辅佐设备,如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎样。假设环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或许把油蒸气排到室外。

8、真空泵作业时发作的振动对工艺进程及环境有无影响。若工艺进程不允许,应选择无振动的泵或许采用防振动方法。

9、真空泵的价格、作业及修补费用。

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